半导体与气体发生反应使得物理性质的改变各不相同,我们根据变化了的物理特性可将半导体气敏传感器分为电阻型和非电阻型。电阻型半导体气敏传感器利用气敏材料与气体发生反应时电阻值的变化来检测气体的成分或浓度。电阻型气敏传感器的灵敏度较高、制作简单,近年来被广泛地使用,但电阻型气敏传感器仍然存在一些缺点,如寿命短、工作温度高等。现如今应注重改善其性能,尽可能地避免其短处,这样才能更好的发挥电阻型气敏传感器的作用。而非电阻型半导体气敏传感器是利用阻值变化以外的其它参数和性质来检测被测气体的浓度和成分。根据其参数又可将非电阻式的半导体气敏传感器分为二极管气敏传感器、MOS二极管气敏传感器和Pd-MOSFET气敏传感。
传感器的种类和形式很多,按感知功能可以分为光敏元件、声敏元件、热敏元件、力敏元件、湿敏元件、磁敏元件等等;按照获得的电信号形式来分,有电压式、电流式、电阻式,电感式,电容式等;按照信号转换过程来分,有直接变换型和间接变换型两大类,直接变换型的传感器可将物理量直接变换成电信号,间接变换型的传感器则是先将一种物理量变换成另一种物理量,然后再转换成相应的电信号。目前传感器向数字化、智能化、系统化、微型化、多功能化等方向发展。
1、光敏元件
光敏元件也称半导体光电元件,它能够将光信号直接转换成电信号,利用的是半导体的光生伏特效应或光导效应。光生伏特效应是利用了光的量子性质,通过光照射将半导体PN结处产生的电压或电流作为输出加以检测,如光敏电阻、光电池、光电二极管和光电三极管等。
最 初的光敏元件主要有充气光电管和冷极真空光电管,随着半导体技术的发展,它们逐渐被半导体光电元件所取代,半导体光敏传感器配件有着结构轻巧、使用寿命长、适用范围广,且便于调节等特点。半导体光敏元件导电特性内部受到杂质浓度的影响,外部受到光照和温度因素的影响,这些因素的不同导致导电特性会发生很大变化。当光敏传感器配件受到光线照射时,半导体原子中的价电子将会脱离原来的运动轨迹,而成为自由电子,与此同时出现一个空穴,即形成了电子空穴对,电子带负电荷,空穴带正电荷,它们都称为载流子,这个形成电子空穴对的过程称为光激发,随着光照越强,载流子增加越多,半导体传感器配件的导电性能也就越好,这就是光电效应。