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| 产品概述 |
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该微小型气体流量控制器采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。
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| 产品技术参数、特点 |
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技术参数： 2.1测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）
2.2 流量范围：DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注：(a)以上流量的测量介质为空气而言；
(b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。
(c)每个口径量程范围均可扩大
(d)特殊需要可联系厂家单独标定 2.3 流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作温度范围：0-55℃；
2.5 工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供电电源：24VDC±10%；
2.7 输出信号：4-20mA，RS485通讯；
2.8 环境温度：0-55℃；
2.9 显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。 特点： 1、产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门。 2、μf微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度显著提升。 3、微小流量气体测量，ml/min级的微流量测控，实现微小流量测量的数字化。 4、单个芯片的卓越流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围大大提高。 5、机电一体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有更好的重复性，实现了计量的准确、可靠。 5、结构的优化，MFM流量计的压力损失达到最小化。 6、采用国际最新的MF传感技术，使流量计工作更稳定、可靠。 7、独创零点自校功能，测量更准确。 8、多种气体实际标定，全量程补偿。 9、快速响应、数据自动存储，配合上位机可实现网络集中管理。 10、规格齐全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定。 11、精度等级高，满足用户高精度测量要求。 12、独有的流量计报警功能，使监控更可靠。 13、操作、设置界面友好、简便，可根据需要自行设定相关参数。 14、运用行业多，是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的首选。 |
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